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Wafer Loader 안에 내장된 Sensor 는 Wafer의 존재와 휨 또는 변형을 자동으로
감지해 알맞은 Pick up 위치와 관찰 위치를 자동으로 지정 |
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빈곳이 있으면 자동으로 건너뛰게 해주는 하나의 Sensor가 Slot를 검사해 빠른 검사를 가능케
함 |
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모든 Robotic Arm은 Delrin Polyacetar 으로 Coating 되어 있으며,
진공의 사용과 모든 Motor 부분은
Wafer의 아래쪽에 위치해 이동 시 발생할 수 있는 오염을 방지 |
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총 3가지의 linear Arm를 가지고 있어서(한 개의 Feeder Arm 과 두개의 Arm
교환) Wafer교환 시간을 단축 |
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Wafer의 이동 시에도 Cassette로 부터 Wafer를 제거 가능하여 교체 시 시간을 단축시켜
줌 |
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360 ˚회전이 가능한 진공 wafer 손잡이 시스템 |
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유일한 fluttering mode(641M only)를 갖춘 강화된 장축의 관찰 시스템 |
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불규칙적인 모양의 Wafer 장착이 가능한 시스템 |
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4”,5”,6” Wafer 검사에 이상적 |
주요특징
