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비접촉 Pre Alignment Photoelectric Sensors를 사용 |
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대화 형식의 시스템과 LCD 창을 통해 더욱 쉽게 조작 및 설정을 할 수 있게 되어 있습니다. |
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응급상황을 안전하게 보호하는 장치를 탑재하여 높은 신뢰성과 안전성을 겸비 |
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LCD 창을 통해 Error 메시지가 나타나며, 전원을 끄더라도 Vacuum Chuck은 켜진
상태를 유지하므로 Wafer를 보호 |
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16 Bit CPU를 사용해 시스템이 향상 되었으며, Multi Arm Transfers 는
더욱 빠르고 정확한 동작을 가능케 함 |
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뛰어난 speed와 빠른 조작, 높은 정확성은 높은 생산 가능 |
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기타 장비와 데이터 전송이 가능한 확장시스템과 네트워크를 갖춘 교환 옵션 내장 |
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6”, 8” Wafer 검사에 이상적 |
주요특징
