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장치개요
본 장치는 Laser Repair System과 대형 스테이지를 장착한 Body로 제작 완성하는 Laser Repair 및 Marking 현미경입니다.

스테이지의 X,Y축 이동은Slide Moving과 정밀한 Linear Motor로 Joystick과 조그다이얼에 의한 Motorizing으로 이동하고, XY축에 Linear Motor가 장착 되어 1/10,000mm 측정값이 표시되며 Repair 부위의 자동 인식과 Repair 측정을 겸하여 할 수 있도록 설계되었으며 그 범위는 스테이지의 전 영역을 할 수 있습니다.
또 절단, Making, Repair도 수동및 자동으로 할 수 있습니다.

Z축 이동은 Motor 구동에 의한 상하 이동 버튼 및 조그 다이얼을 이용하여 Focusing 및 Coarse & Fine Focusing Knob를 이용한 Focusing을 겸하여 할 수 있습니다.

그리고 대물렌즈 회전 장치도 모터 구동에 의한 설정 Indicator를 보면서 회전하도록 합니다.
스테이지는 Air (Isolation System) 로 Balance와 제진을 합니다.
 
장치구성
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- 		Laser Repair System
Laser Comportable Microscope System
제진 시스템 및 Balancing 시스템
Laser Repair & Mezsuring Software for Laser Cutting & Marking, Marking
화상처리 및 분석 장치부
 
용도
- FPD Panel 및 Module의 각 부분을 Laser Cutting & Marking, Marking
- Inspection 및 측정, 이미지 저장 및 분석 데이터관리를 할 수 있다.
 
특징 및 사양
- Laser Repair System
  1) Laser : YAG Laser
2) Laser Wavelength : 1064nm / 532nm / 355nm / 266nm Multi-Wavelength
3) Laser Energy : 1.5mj/1.2mj
4) Min. Cut size (at 100X objective) : 1x1um
5) Max. Cut size (at 20X objective) : 125x125um
6) Laser head : 159x165x298mm
7) Polorizer Compensation Optics for Cell repair (0/45/90/135)