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> 제품소개 > 대형 현미경 |
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대형 측정/검사 현미경 (LS 시리즈) |
- 장치개요
본 장치는 Nikon에서 대형등 기성품으로 대체할 수 없는 특수 사양의 현미경을 주문형으로 제작할
수 있도록 개발된 Modular Focusing Unit 및 Nikon의 현미경 Parts로 구성한
현미경에 대형 스테이지를 장착한 Body로 제작 완성하는 측정/분석 현미경 입니다..
- 장치구성
1. 현미경 광학계
2. 현미경 스테이지 및 몸체
3. 제진 시스템
4. 측정 장치부
5. 화상처리 및 분석 장치부 |
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| - 용도 |
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FPD (LCD, PDP, OLED etc.) Film, ITO Glass FPCB 등의
각 부분을 Inspection 및 측정, 이미지 저장, 관리, 분석, 데이터관리와 이미지 자동
합성 등을 할 수 있다. |
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기존의 분석현미경과 달리 화면을 벗어난 스테이지 전 영역의 거리, 간격도 측정 할 수 있으며,
설정하는 측정/검사 Point를 자동 탐색하여 측정/검사 할 수 있음(Option) |
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| - 특징 |
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관찰법 : 가) 명시야(BF), 암시야(DF), 편광상(POL), 미분간섭상 (DIC) 형광상(FL) |
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조명 방법 : 투과 및 반사조명의 각각 선택조명 및 동시 조명에 의한 검사 및 측정 분석 |
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X,Y Axis Stroke : 500 x 400mm ~ 1800x1200mm 이상 |
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최대 대응 사이즈 : 105” (Inch) |
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X,Y축 구동방법 : Manual, Motorizing, Programmable Motorizing
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Focusing : Motorized Z Focusing and Manual Coarse/Fine
Focusing Knob |
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Focusing Stroke : 가. Motorized Focusing - 100mm + Manual
Focusing - 30mm |
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Control
가. X.Y.Z축 Motorized Control (XY axis Programmable)
나. Nosepiece Motorized Control (Objective Indicator)
다. Motorized Polarizing Control
라. Illumination Control
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배율 : 25X, 50X, 100X, 200X, 500X, 1000X, 1500X , (15X~2000X가능.)
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사용 렌즈 : Nikon CFI60 Infinity Optics |
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Eyepiece Tube : Long Trinocular Tilting Eyepiece Tube
with Elect Image |
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| - Spceifications |
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품명 및 모델
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FPD Inspcetion Microsope, LS
series
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General
Function
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Observation Technique
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Brightfield, Darkfield, Nomarskl
DIC, Polarzing, Fluorescence
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Magnification
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15x, 50x, 100x, 200x, 600x, 1000x,
1500x
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MAX, Observation Area
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105Inch
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Objective
Lens
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CFI60 Infinity Optics
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OFI L Plan Epi 2.5x (NA/WD : 0.07 5/8.80mm)
OFI LU Plan BD 5x (NA/WD : 0.15/18.0mm)
OFI LU Plan BD 10x (NA/WD : 0.30/15.0mm)
OFI LU Plan BD 20x (NA/WD : 0.45.4.5mm)
OFI LU Plan BD ELWD 50x (NA/WD : 0.55/9.8mm)
OFI LU Plan BD ELWD 100x (NA/WD : 0.80/3.50mm)
OFI LU Plan Apo BD 150x (NA/WD : 0.9/0.40mm) |
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Eyeplece
Tube
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Eyepiece Lens
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OFI Eyeplece 10x with dlopter
adjustment (F.O.V. 22mm)
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Eyepiece Tube
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Tllting Erect Long Eyeplece Tube
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Stage
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Stage Size
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800 x 700mm ~ 2200 x 1600mm
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X, Y Stroke
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500 x 400mm ~ 1800 x 1200mm
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Stage Moving
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Manual Moving or Motorized Moving
with Sliding Moving
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측정 및 좌표인식
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수동 및 자동측정, 좌표인식 기능 (Option)
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Measuring
Unit
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Counting
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X, Y, Z 3-axls Counting, 0.1 um
Resolution
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Linear motor
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X, Y, Z 3-axls : 1/10,000mm
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Programmable
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자동 측정/검사 포인트 탐색 및 측정 포인트 설정
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Revolver
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Nosepiece
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Motorized Universal Noseplece
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대물렌즈위치표시
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설정된 대물렌즈를 알려줌
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Focus
Mechanism
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Focus Type
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Motorized 4 speed (Control Panel)
+ Manual 겸용
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Focus Travel (Stroke)
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Motorized 100mm + Manual 30mm
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Illumintion
System
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Normarski D IC Prism
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L2-DIHC DIC HC Prism
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Polorzing Unit
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Motorized Rotatable Polarizer, Motorized Rotatable
Analyzer |
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Observation Filter
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D/F, B/F, F/L, POL |
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Color Natural Filter
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B 25mm Filter Slider NCB11 |
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광량조절 Filter
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ND2(50%), ND4(25%) |
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반사(상부)조명
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12V 100W Halogen Lamp |
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투과(하부)조명
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15V 150W Halogen Lamp |
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투과/반사 Mode전환
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투과, 반사, 투반사 동시 |
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광세기(전압)조절
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투과/반사 각각의 광세기(전압)를 조절(Control Panel) |
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Body
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Motion Type
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Stage Moving Type, Microscope Head Moving Type |
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Material
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Strengthening Aluminium, Honeycomb Plage, Steainless
Steel |
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Antivibration system
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Vibration isolation system(공기부상식
제진시스템)
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Power Requirement
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220V, 60Hz, 1P
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