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주요특징
- 12” wafer 검사가 가능한 현미경(L300)
- 대형 스테이지(540x417mm)를 사용하여 Stroke 354x302mm의 관찰범위 실현(L300D)
- 선명한 이미지, 높은 해상도, High Contrast의 CFI60 광학계를 채용
- 명시야(BF), 암시야(DF), 편광(POL), 미분간섭(DIC), 형광(FL) 관찰 가능
- 디지털 카메라와 CCD카메라를 연결할 수 있어 이미지를 저장, 편집, 분석, 측정에 유용하며 모니터를 통해 동시 관찰 가능
- FPD(LCD, PDP, OLED, Film 등), wafer, 전자부품, 금속부품과 같은 다양한 측정물 검사에 이상적

정밀한 대물렌즈의 위치제어로 조금의 틀어짐도 없는 렌즈 변환과
렌즈 변환 도중에 내부의 조명 Cut 셔터가 작동하여 작업자의 눈을 보호해 줍니다.

본체에 장착된 Focusing target 레버를 밀어 넣는 것 만으로
초점 맞추기가 어려운 Sample도 고배율에서 손쉽게 맞출 수 있습니다.
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